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上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题_蜘蛛资讯网

迭代的新路径。原文链接

I实验室）联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台，构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。原文链接

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发布时间：00:26:33